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椭圆偏振测厚仪

椭圆偏振测厚仪

产品时间:2020-03-24

简要描述:

SGC-1A椭圆偏振测厚仪近代科学技术的许多学科对各种薄膜的研究和应用日益广泛,因此,测得薄膜厚度和光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作中,常常使用椭圆偏振法来进行测量。这种方法测量灵敏度和精度较高,并且是非破坏性测量。他能同时测定薄膜的厚度和折射率。

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SGC-1A椭圆偏振测厚仪近代科学技术的许多学科对各种薄膜的研究和应用日益广泛,因此,测得薄膜厚度和光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作中,常常使用椭圆偏振法来进行测量。这种方法测量灵敏度和精度较高,并且是非破坏性测量。他能同时测定薄膜的厚度和折射率。

本产品为手动方式调节仪器,测量薄膜的厚度和光学参数。清晰的展示了椭圆偏振测厚仪的各个部件的结构功能,调节方法,使用户可详细的了解椭圆仪的原理结构,并培养其动手操作能力。

SGC-1A椭圆偏振测厚仪参数

编号

名称

参数

1

测量范围

1nm-300nm

2

测量最小值

≤1nm

3

入射角

30°~90°误差≤0.1°

4

偏振器方位角读数范围

0°~180°

5

度盘刻度

每格2度

6

游标最小读数

0.05°

7

光学中心高度

152mm

8

工作台直径

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主机重量

20kg

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