RTS-9双电测四探针测试仪测量原理
双电测组合四探针法采用了以下二种组合的测量模式（见图1）。
将直线四探针垂直压在被测样品表面上分别进行I14V23和I13V24组合测量，测量过程如下：
1. 进行I14V23组合测量：
电流Ｉ从１针→４针，从２、３针测得电压V23+；
电流换向，Ｉ从４针→１针，从２、３针测得电压V23-；
计算正反向测量平均值：V23＝(V23+ ＋V23- )／2；
2. 进行I13V24组合测量：
电流Ｉ从１针→３针，从２、４针测得电压 V24+；
电流换向，Ｉ从３针→１针，从２、４针测得电压 V24-；
计算正反向测量平均值：V24＝(V24+ ＋V24- )／2；
3. 计算（V23／V24）值；
（以上V23、V24均以 mV 为单位）；
4. 按以下两公式计算几何修正因子Ｋ：
若 1.18＜（V23 ／V24）≤1.38 时；
K＝－14.696＋25.173(V23／V24)－7.872(V23／V24)2 ； …(1)
若 1.10≤（V23／V24）≤1.18 时；
K＝－15.85＋26.15(V23／V24)－7.872(V23／V24)2 ； …(2)
5. 计算方块电阻 R□ ：
Ｒ□ ＝Ｋ·(V23／Ｉ) (单位：Ω／□) ； …(3)
其中：Ｉ为测试电流，单位：mA；
V23为从２、３针测得电压V23+和V23-的平均值，单位：mV；
6. 若已知样品厚度W，可按下式计算样品体电阻率ρ：
ρ＝R□·W·F(W/S)／10 (单位：Ω.cm)； …(4)
其中：Ｒ□为方块电阻值，单位：Ω／□；
W为样片厚度，单位：mm（W ≤3mm）；
S为探针平均间距，单位：mm；
F(W/S) 为厚度修正系数；
7. 计算百分变化率（以测试样品电阻率ρ为例）：
ρM －ρm
大百分变化（％）＝─────×100％ …(5)
ρm
│ρa －ρc │
平均百分变化（％）＝─────────×100％ …(6)
ρc
２（ρM －ρm ）
径向不均匀度Ｅ（％）＝──────────×100％ …(7)
ρM ＋ρm
以上式中：ρM 、ρm 分别为测量的电阻率大值与小值，单位：Ω.cm；
ρc 为第1、2 点（即圆片中心测量点）测量平均值，单位：Ω.cm；
ρa 为除第1、2 点外其余各点的测量平均值，单位：Ω.cm；
（若测量样品的方块电阻值,则将(5)、(6)、(7)式中的ρM 、ρm 、ρa 、ρc 分别改成ＲM 、Ｒm 、Ｒa 、和Ｒc 。其公式意义与ρM 、ρm 、ρa 、ρc 相似）。
