数字化智能四探针测试仪的研制

发布时间：2020/1/17

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摘要：将传统直流四探针测试仪与嵌入式系统相结合，研制出数字化智能四探针测试仪。该仪器可以自动识别被测样品电阻率，并自动切换到很好档位，操作简便工作效率高,具有一定的实用和开发价值。

1 引言
　　直流四探针测试法是微电子行业常用的测量材料电阻率的方法，通过测量材料的电阻率可以得到材料的掺杂浓度等重要信息。因此，在微电子工业中四探针测试仪一直是十分重要的测量仪器。

近年来，微电子工业在中国大陆发展迅速，传统的数字式直流四探针测试仪需要手动调节档位，测量周期长、工作效率低，已经无法适应时代发展，国内需要寻求一种新型的测试设备。

本文中介绍的数字化智能四探针测试仪可以自动切换量程、自动运算相关的数据。用户甚至可以在不了解四探针测试原理的情况下方便地测量材料的电阻率。该仪器具有PC机接口，通过PC机可以集中管理且硬件成本低廉。