大型精密光学平台振动隔离技术研究-中国工程物理研究院

发布时间：2020/2/8

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精密光学设备对振动的要求比较苛刻，必须采取有效措施隔离和抑制振动。本文对大型精密光学平

台在宽频带(0Hz～200Hz)随机振动环境下的支撑方式和振动隔离技术进行了分析和数值模拟，采用类

stewart结构的八腿斜支撑结构和空气弹簧隔振器建立试验系统，在仿真试验中，取得了振动隔离系统固有

频率小于3Hz，4Hz处开始衰减振动，振动衰减率在10Hz处大于20dB，20Hz处大于30dB的良好效果。

关键词精密光学平台，振动隔离，衰减率。