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RTS-8四探针测试仪技术参数天津诺雷信达

RTS-8四探针测试仪参数:

测量范围

电阻率:10-5~105Ω.cm;

方块电阻:10-4~106Ω/□;

电阻:10-5~105Ω;

电导率:10-5~105s/cm;

可测晶片直径:140mmX150mm (配S-2A型测试台);

               200mmX200mm (配S-2B型测试台);

400mmX500mm (配S-2C型测试台);

恒流源

电流量程分为 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六档,各档电流连续可调;

数字电压表

量程及表示形式:000.00~199.99mV;     

分辨力:10μV;

输入阻抗:>1000MΩ;   

精度:±0.1%;

显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示;  

四探针探头基本指标

间距:1±0.01mm;

针间绝缘电阻: ≥1000MΩ;

机械游移率: ≤0.3%;

探针:碳化钨或高速钢材质,探针直径Ф0.5mm;

探针压力:5~16 牛顿(总力);

四探针探头应用参数

见探头附带的合格证,合格证含三参数项:

C:探针系数; F:探针间距修正因子; S:探针平均间距;

模拟电阻测量相对误差(按 JJG508-87 进行)

0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字;

整机测量最大相对误差

(用硅标样片:0.01-180Ω.cm 测试)≤±5%;

整机测量标准不确定度

≤5%;

外型尺寸(大约)

电气主机: 460mm×320mm×100mm;

S-2A型测试台: 190mm×140mm×260mm;

S-2B型测试台: 300mm×210mm×400mm;

S-2C型测试台: 500mm×400mm×350mm;

仪器重量(大约)

电气主机: 3.5kg;

S-2A型测试台: 2kg;

S-2B型测试台: 2.5kg;

S-2C型测试台: 4kg;

标准使用环境

温度::23±2℃;

相对湿度:≤65%;

无高频干扰;

无强光直射;

*.注意:使用1μA量程时,允许有小于1.0nA的空载电流.在相对湿度小于50%时使用。

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