RTS-8四探针测试仪参数:
测量范围
电阻率:10-5~105Ω.cm;
方块电阻:10-4~106Ω/□;
电阻:10-5~105Ω;
电导率:10-5~105s/cm;
可测晶片直径:140mmX150mm (配S-2A型测试台);
200mmX200mm (配S-2B型测试台);
400mmX500mm (配S-2C型测试台);
恒流源
电流量程分为 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六档,各档电流连续可调;
数字电压表
量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
输入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1%;
显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示;
四探针探头基本指标
间距:1±0.01mm;
针间绝缘电阻: ≥1000MΩ;
机械游移率: ≤0.3%;
探针:碳化钨或高速钢材质,探针直径Ф0.5mm;
探针压力:5~16 牛顿(总力);
四探针探头应用参数
见探头附带的合格证,合格证含三参数项:
C:探针系数; F:探针间距修正因子; S:探针平均间距;
模拟电阻测量相对误差(按 JJG508-87 进行)
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字;
整机测量大相对误差
(用硅标样片:0.01-180Ω.cm 测试)≤±5%;
整机测量标准不确定度
≤5%;
外型尺寸(大约)
电气主机: 460mm×320mm×100mm;
S-2A型测试台: 190mm×140mm×260mm;
S-2B型测试台: 300mm×210mm×400mm;
S-2C型测试台: 500mm×400mm×350mm;
仪器重量(大约)
电气主机: 3.5kg;
S-2A型测试台: 2kg;
S-2B型测试台: 2.5kg;
S-2C型测试台: 4kg;
标准使用环境
温度::23±2℃;
相对湿度:≤65%;
无高频干扰;
无强光直射;
*.注意:使用1μA量程时,允许有小于1.0nA的空载电流.在相对湿度小于50%时使用。